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Plasmaunterstützte Niedertemperaturprozesse für die Siliziumtechnologie 

Prozessentwicklung und Defekt-Engineering

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Reinhart Job, Bochum, Bochumer Universitätsverlag, Bochum 20020701, 252 S., ISBN 3-934453-87-6, 
Halbleiter- Materialforschung  Bd 1, ISSN 1610-045X, EUR 39 

Anschrift für Bestellungen:
Bochumer Universitätsverlag, Querenburger Höhe 281, 44801 Bochum, Tel. 0234 971 978 - 0, Fax -6, inerhalb der Uni.: Tel. (0234 32-)11993, Fax 14993, email BoU@BoU.de.
US: The University Press Bochum, c/o Ms Lei Song, 2504 Grant Ave #2, Redondo Beach CA 90278 USA, phone +1 310 379-9031, fax +1 209 729-5412, email us@BoU.de.
Asia: The University Press Bochum, c/o Ms Yi Song, Huapeng Mansion, Dongsan huan beilu 19, Room: nan 502, Letter Box 66, phone +86 10 65975076, fax +86 10 65975089, email china@BoU.de.